Một phòng sạch hay một không gian sạch được định nghĩa là một hoặc nhiều căn phòng hay một khu vực được kiểm soát về môi trường, trong đó mật độ các hạt bụi trong không khí được kiểm soát một cách nghiêm ngặt theo các thông số cần thiết đã được xác định giới hạn để phục vụ cho một nhu cầu cụ thể.

Các tiêu chuẩn phòng sạch

Có khá nhiều các Tiêu chuẩn Quốc tế định nghĩa về “Phòng sạch”. Các lĩnh vực liên quan đến khái niệm phòng sạch có ngành Sinh học, Dược phẩm, Vi điện tử và nhiều ngành khác nữa. Có các tiêu chuẩn quốc tế quan trọng về phòng sạch là:

Các tiêu chuẩn này thường có các phần chính như sau:

Phần 1: Nguyên lý Kiểm soát không gian sạch (Principles of Clean Space Control) Đưa ra các nguyên lý kiểm soát một không gian sạch. Có 6 mức độ không khí sạch được mô tả và các chỉ dẫn về việc lựa chọn kiểu thổi gió, kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm, điều chỉnh áp suất không khí, vật liệu và kỹ thuật xây dựng cũng như các quy trình tiến hành. Các không gian sạch có thể đạt được trong phạm vi một phòng hoặc trong phạm vi vị trí làm việc hoặc trong phạm vi buồng nhỏ trong một phòng.

Phần 2: Các phòng sạch thổi gió từng lớp (Laminar Flow Cleanrooms) Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió từng lớp, với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 3.5 theo tiêu chuẩn phòng sạch.

Phần 3: Các phòng sạch có thổi gió thông thường (Non-laminar Flow Cleanrooms) Cấp 350 và cao hơn. Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió thông thường với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 350 theo tiêu chuẩn phòng sạch.

Phần 4: Các phòng sạch có thổi gió thông thường (Non-laminar Flow Cleanrooms) Cấp 3500. Mô tả các yêu cầu đối với phòng sạch có thổi gió thông thường với độ sạch không khí tối thiểu đạt Cấp 3500 theo tiêu chuẩn phòng sạch.

Phần 5: Vị trí làm việc sạch (Clean Workstations) Mô tả các yêu cầu đối với vị trí làm việc sạch.

Phần 6: Thực hiện và Kiểm tra về phòng sạch (Operation and Inspection of Cleanrooms) Đưa ra các gợi ý và yêu cầu đối với việc tiến hành và kiểm tra về phòng sạch có thổi gió từng lớp và phòng sạch có thổi gió thông thường. Tài liệu tham khảo cho 3 giai đoạn đánh giá cho 3 giai đoạn khác nhau của phòng sạch (phòng sạch đang được thiết lập, phòng sạch tĩnh và phòng sạch đang trong vận hành).

Phần 7: Lắp đặt và sử dụng Vị trí làm việc sạch (Installation and Use of Clean Workstations) Đưa ra các gợi ý về thực hành lắp đặt, vận hành, duy trì và kiểm tra vị trí làm việc sạch (có thổi gió từng lớp) như đã được mô tả trong tiêu chuẩn phòng sạch.