Dựa trên phạm vi các ngành khác nhau, yêu cầu về tiêu chuẩn và các quy trình phòng sạch được quy định khác nhau. Do đó phòng sạch cũng được thiết kế khác nhau để đảm bảo những quy định ấy.
Phòng sạch theo tiếng Anh là CLEANROOM- Được ghép từ Clean: sạch và Room: phòng.
Phòng sạch còn được hiểu là phòng rất sạch.
Theo tiêu chuẩn ISO 14644-1 thì phòng sạch là “một phòng mà bên trong đó các hạt lơ lửng bên trong không khí bị khống chế và nó được xây dựng và sử dụng trong một kết cấu sao cho sự có mặt, sự sản sinh và duy trì các hạt trong phòng được giảm tối thiểu và các yếu tố khác trong phòng như nhiệt độ ẩm, áp suất đều có thể khống chế và điều khiển.”
Nói một cách dễ hiểu hơn: Phòng sạch là một phòng rất kín, nơi mà lượng bụi trong không khí được hạn chế ở mức thấp nhất nhằm tránh gây ra nhiễm bẩn cho các linh kiện, thiết bị, sản phẩm trong quá trình chế tạo và sản xuất. Đồng thời, bên trong phòng sạch thì nhiệt độ, áp suất và độ ẩm không khí cũng được kiểm soát chặt chẽ bằng hệ thống điều khiển điện tử nhằm tạo điều kiện thuận lợi nhất cho quá trình sản xuất, chế tạo. Ngoài ra, phòng sạch còn được đảm bảo vô trùng, không có các khí độc hại theo đúng nghĩa “phòng sạch”.
Cleanroom Partitions (Các tấm ngăn trong phòng sạch): Là các tấm tường được sử dụng để ngăn phòng sạch thành nhiều khu vực sạch đáp ứng các yêu cầu sạch khác nhau.
Clean Room Suits (Quần áo sạch): Bộ quần áo được làm từ vairkhoong dệt, sợi chống tĩnh điện, thường được mặc trùm bên ngoài quần áo thông thường.
Air Shower (Phòng tắm khí): Là phòng nhỏ có bố trí các vòi phun nén, nhằm làm sạch nhân viên trước khi đi vào phòng sạch.
Air flow rate (Lưu lượng dòng khí): Thể tích dòng khí trong mỗi đơn vị thời gian.
Air Lock (Phòng ngăn không khí) : Là phòng đặt giữa phòng sạch và không gian bên ngoài, nó có tác dụng phòng điện hay phòng chung chuyển khi vận chuyển vật liệu ra vào khỏi khu vực phòng sạch.
Cleanzone: Không gian tập trung các hạt có trong không khí được kiểm soát dưới mức độ cho phép.
Electrostatic Discharge (Phóng điện do tĩnh điện): Sự giải phóng điện tích không có kiểm soát của điện thế làm phá hỏng các sản phẩm bán dẫn.
HVAC (Heating, Ventilation anh Air Conditioning) Systems (Hệ thống sưởi, thông gió và điều hòa không khí): Thiết bị cung cấp, duy trì việc sưởi ấm, làm mát và điều hòa không khí.
Microbes (Vi sinh vật): Các sinh vật cực nhỏ, thường mang theo bệnh, chúng thường được phát tán từ da người khi tế bào da bị bong tróc.
Particulate (Hạt): Là vật thể bao gồm nhiều tiểu phân tách biệt nhau.
Prefilters (Lọc sơ bộ, tiền lọc): Lọc bổ sung được dùng để nối tiếp với bộ lọc chính, lọc tiểu phân cỡ lớn và bảo vệ bộ lọc chính không bị nhiễm bẩn quá mức.
Utility Matrix (Bảng khai thác sử dụng thiết bị): Tổng kết các phân tích về việc khai thác sử dụng từng thiết bị để lập kế hoạch xây dựng một phòng sạch.
Tiêu chuẩn phòng sạch là những quy định về hàm lượng bụi trong một đơn vị thể tích không khí; nhiệt độ, áp suất và độ ẩm cho phép dùng làm chuẩn. Trong đó hàm lượng bụi là quan trọng nhất.
Tiêu chuẩn phòng sạch được đưa ra lần đầu tiên vào Mỹ năm 1963 và cho đến nay nó đã trở thành tiêu chuẩn chung cho cả thế giới.
